??? 王曦院士展示他帶領(lǐng)團隊研發(fā)生產(chǎn)的光潤無瑕、晶瑩透剔的“三明治”SOI圓片。穿上凈化服、戴上口罩、經(jīng)過強風(fēng)的“風(fēng)淋”后，記者走進了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點實驗室。

??? 展現(xiàn)在眼前的是一個擺滿了高科技儀器設(shè)備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機器之間穿梭忙碌。

??? 這里是我國最先進的高端硅基集成電路晶圓片材料SOI研發(fā)平臺，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦院士為之奮斗十多年的地方。 新華社記者 劉穎 攝